超规格真空

1957年，Jepsen、Helmer 和 Hall 在 Varian Vacuum（现为安捷伦真空）发明了离子泵。1967年，Varian 开设了 Torino 工厂，专门为第一个 CERN 实验制造离子泵。

事实上，第一款离子泵根据 CERN 中心的构建需求而制造。1971–1984 年一直在 CERN 运行的强子对撞机 ISR，是最早安装大型溅射离子泵（300 泵；抽速为 400 L/s）装置之一。

1983 年在 Torino 开发的三极离子泵专为 LEP 项目而设计。为这一项目共制造了 1000 多台三极离子泵。

安捷伦离子泵对粒子物理学的发展至关重要，例如在大型强子对撞机上发现了希格斯玻色子。

产品样本：超高真空 60 年创新。深入了解实现超高真空的创新。

PPT 幻灯片组：UHV 系统的离子泵、同步加速器与粒子加速器。安捷伦离子泵如何解决高能物理学研究的特定真空要求。

PPT 幻灯片组：离子吸气剂泵 CAS-2017 CERN 加速器学校。深入了解离子泵技术及其最新发展。

通过 X-FEL/Desy 将安捷伦在线离子泵集成到传输光束线中

XFEL — X 射线自由电子激光技术

XFEL — 德国汉堡正在建设的一座突破性 X 射线研究基地，将产生比传统光源亮 10 亿倍的 X 射线激光。这些极短且相干的 X 射线激光将使细胞、反应和纳米颗粒的全新原子级研究成为可能。安捷伦的 350 个在线离子泵将使这一目标成为现实。

阅读产品样本，了解在线离子泵。

LIGO/KAGRA：引力波的检测

激光干涉引力波观测站 (LIGO) 专为直接探测爱因斯坦广义相对论预测的引力波而设计。LIGO 由美国境内的两台干涉仪组成，依赖于由安捷伦离子泵提供的稳定高真空，确保运行可靠。

KAGRA 是日本正在建设的引力波探测器。运行时间正常、运行可靠且无振动是这类探测器的绝对要求，而创建超洁净、稳定的高真空有助于该系统的运行。Agilent VIP1000 离子泵将成为专为满足这些严格标准而设计的真空系统的关键部分。

Agilent TwisTorr 304 FS 成功案例

将 TwisTorr 304 FS 安装到 UHV 系统的真空锁中

TwisTorr 304 FS 已经在用于沉积、分析和沉积后处理技术相结合的系统进出样室进行了测试。进出样室安装在管道的一端，并通过插板阀隔离，其配备了 TwisTorr 304 FS 和真空计。过去曾使用 Agilent TV301，在 304 FS 评估成功之后，客户确认了该泵在此系统的适用性。

客户反馈：泵非常可靠、极限压力良好、噪音水平很低

将 TwisTorr 304 FS 安装在 PVD-PECVD 镀膜系统的真空进出样室

将 TwisTorr 304 FS 安装在 PVDSoft Etch 和 PECVD 的进出样室，晶圆尺寸可达 200 mm。由于接口（前级、水和电连接）、排气口的位置与先前型号以及外形尺寸相同，TwisTorr 304 FS 可完全可以替代该系统目前装备的 V301。与 V301 相比，304 FS 抽气速度更快，在该应用中广受好评。

客户反馈：与 V301 完全适配，与 V301 相比性能更好（抽真空）

缓冲气体冷却应用中的 TwisTorr 304 FS

为了能够生成移动速度缓慢的分子，需要对轻质气体使用极高性能的涡轮分子泵，而 TwisTorr 304 FS 符合要求。

“安捷伦的新型 TwisTorr 304 FS 当然符合要求，它的紧凑设计和轻质气的压缩比特别出色。”— 安捷伦客户

客户反馈：高压缩比、紧凑设计