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创新真空和检漏解决方案

安捷伦真空泵、真空泵组、测量仪表、真空组件和氦气检漏仪能建立、测量并维持用于应用、制程或研究的真空条件。了解安捷伦清洁、干燥、静音的 IDP 涡旋泵;高性能,高压缩比的 TwisTorr 涡轮分子泵;经优化可提供高真空/超高真空的离子泵和控制器;以及稳定可靠的氦气检漏仪。

安捷伦利用 Varian Vacuum 产品的基础,以产品价值和经验丰富的支持来满足您的真空需求。安捷伦的真空泵、泵组和真空组件可用于物理、分析仪器和纳米技术等方面的高级研究,也非常适合工业制程。

离子泵和控制器

用于获得超高真空 (UHV) 和极高真空 (XHV) 的离子泵和控制单元

小型离子泵
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中型离子泵
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大型离子泵
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钛升华复合离子泵 (TSP)
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非蒸散型吸气剂 (NEG) 复合离子泵
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离子泵控制器
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离子泵附件

涡轮分子泵和控制器

高真空涡轮分子泵和控制器提供最佳真空性能

涡轮分子泵
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涡轮分子泵控制器
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涡轮分子泵和控制器附件

涡轮分子泵系统 (TPS)

高真空涡轮分子泵系统可优化实验室或工厂的真空条件

一体化涡轮分子泵系统
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模块化涡轮分子泵系统
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涡轮分子泵系统 (TPS) 附件

扩散泵

适用于高要求真空应用的油扩散真空泵

小型扩散泵
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大型扩散泵
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扩散泵附件

涡旋式干泵

洁净、高性能的无油涡旋泵

IDP 泵
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TriScroll 泵
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涡旋泵附件

油封旋片泵

单级和双级油封旋片泵适用于多种应用

双级 (DS) 旋片泵
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实验室单级 (MS) 旋片泵
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工业用单级 (MS) 旋片泵
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旋片泵附件

罗茨真空泵 (RP) 和罗茨泵系统 (RPS)

罗茨真空泵和罗茨泵系统可提高抽真空速度

罗茨泵 (RP)
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罗茨泵机组 (RPS)
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罗茨真空泵 (RP) 和罗茨泵机组 (RPS) 附件

氦气检漏仪

确保在所有检漏应用中获得出色的性能和稳定性

氦质谱检漏仪 (HLD)
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便携式吸枪检漏仪
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组分检漏仪
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检漏仪附件

真空测量

高质量真空计和控制器可实现准确的真空测量

主动式真空计
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真空计控制器
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真空传感器
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真空计电缆

真空组件

适用于真空仪器的可靠组件

真空法兰和接头
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真空阀
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真空备件

真空和检漏软件

真空和检漏软件和应用程序可优化工作流程