오염물질 제어
우수한 감도 및 극미량 불순물에 대한 오염물질 제어
통합형 회로 내 반도체의 크기가 점점 작아지면서, 극미량 오염물, 특히 금속 오염물이 생산율에 미치는 영향이 커지고 있습니다. 애질런트의 8900 Triple Quadrupole ICP-MS 및 7900 ICP-MS와 같은 기기만이 반도체의 순도, 침전불순물, 패키징 등을 효과적으로 점검하는 데 필요한 높은 감도를 제공할 수 있습니다.
애질런트의 차세대 Ultimate Sensitivity 기술은 오염물질 제어 기술의 선두에서 박차를 가하고 있으며, Cary 600 시리즈 FTIR 및 4300 Handheld FTIR는 표면 및 얕은 불순도 검출을 가능케 합니다.
애질런트의 솔루션을 이용하면 화학물질을 직접 분석을 할 수 있으며, 희석 및 시료 오염 문제를 제거할 수 있습니다. 애질런트의 솔루션은 반도체 사용자에게 종합적인 시료 처리, 자동화 도구, 탁월한
구조 지원을 제공합니다.
Trace elemental analysis of trichlorosilane by Agilent 7700s/7900 ICP-MS
- PDF/ FOUND IN: APPLICATION NOTES
- 날짜 : 20 Sep 2021
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Direct analysis of trace metallic impurities in high purity hydrochloric acid by Agilent 7700s/7900 ICP-MS
- PDF/ FOUND IN: APPLICATION NOTES
- 날짜 : 09 Oct 2017
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Direct measurement of metallic impurities in 20% ammonium hydroxide by Agilent 7700s/7900 ICP-MS
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- 날짜 : 09 Oct 2017
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Measuring the Optical Properties of Photovoltaic Cells Using the Cary 5000 UV-Vis-NIR Spectrophotometer and the External DRA-2500
Application note for measuring the optical properties of photovoltaic cells using the Cary 5000 UV-Vis-NIR spectrophotometer and the External DRA-2500.
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- 18 Jan 2023
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- 07 Jun 2022
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- 04 Mar 2020
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- 28 Aug 2019
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- 15 Nov 2018
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- 06 Jun 2018
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Determination of trace elements in ultrapure semiconductor grade sulfuric acid using the Agilent 8900 ICP-QQQ in MS/MS mode
42 analytes in sulfuric acid, including Ti and other elements which are difficult to determine at trace levels in a high S matrix were successfully determined at ppt levels
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- 06 Feb 2018
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