环境监测

升级型半导体工业废水环境监测

为了在保持高收益的同时将半导体制造过程对环境的影响降至最低，稳定和强大的仪器性能是不可或缺的条件之一。检测半导体制造过程中产生的各种痕量污染物需要高效的分析解决方案。借助安捷伦的 ICP-MS、 ICP-OES 和 ICP-MS/MS 设备，用户可对这类污染物（包括有机溶剂、酸、碱、盐和重金属）进行准确定量。

我们的仪器配备顶尖级的样品前处理和自动化处理技术，可确保半导体工业废水分析遵循最严格的法规和质量控制要求。我们在环境监测和分析方面累积了几十年的丰富经验，可帮助所有的用户确保半导体制造工艺（从晶硅生长和氧化到光刻和清洗）中的安全性。