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涡轮分子泵放空阀

涡轮分子泵放空阀

涡轮分子泵放空阀可确保对涡轮分子泵执行正确且安全的放空和减速程序。当泵系统停止运行或发生断电时,放空阀会通过由电磁阀控制的校准孔向涡轮分子泵注入指定的气流。

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