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微型离子泵

微型离子泵

安捷伦微型 VacIon 泵(通常称为辅助离子泵)有二极离子泵和改进型二极离子泵两种配置,抽速为 0.4 L/s。此类小型离子泵具有重量轻、磁场极低的特点,最高烘烤温度可达 400 °C。

自安捷伦(瓦里安)于 20 世纪 50 年代后期发明离子泵以来,安捷伦微型泵已广泛用于国防、航天、电信、科研和医疗器械等应用领域。它们通常可用于确保电子管在较高或超高真空压力下的使用寿命。

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