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NEG 法兰

SAES GETTERS NEG 法兰是标准的 CF 型法兰,可以完成 CombiNEG 吸气剂复合型离子泵的封装,以正确的方式将吸气剂泵整合到离子泵内。可使用特殊接头将 NEG 连接到控制装置,特殊接头可耐受最高 400 °C 的烘烤。

每件 NEG 法兰均经过专门设计,可与相应的吸气剂泵适配,且所有 NEG 法兰均已通过 1.5 x 10–10 scm3/s 条件下的泄漏测试。法兰的设计可确保整个泵组件简单、紧凑,具有体积小巧、可靠性高的优势。

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