Agilent ICP-MS MassHunter 软件为安捷伦 ICP-MS 和 ICP-MS/MS 系统提供仪器控制和数据分析 (DA)。最新 ICP-MS MassHunter 5.4 版于 2025 年 6 月发布,支持所有现有的 Agilent 7850 和 7900 单四极杆 ICP-MS,以及 Agilent 8900 ICP-MS/MS 系统,同时仍兼容 Agilent 7800 ICP-MS 和 8800 ICP-MS/MS 平台。

ICP-MS MassHunter 5.4 与 Windows 11 兼容,帮助实验室顺利过渡,为 Windows 10 停止支持做好准备。此外,它还可与 Agilent OpenLab Server/ECM XT 2.7/2.8 和 ECM 3.6 等合规解决方案集成。

此软件版本新增针对高纯度半导体试剂检测的全新工作流程,显著提升了单纳米颗粒 (sNP) 分析能力,并支持干泵、Agilent SPS 4 自动进样器的定制样品架,以及与 SEMI E30 软件开发工具包的集成。这些改进旨在满足半导体及高级材料实验室不断变化的需求。

ICP-MS MassHunter 5.4 版的新功能

ICP-MS MassHunter 5.4 版以 5.1 版中推出的最新简化用户界面为基础,具有一系列改进功能和新功能,包括:

简易方案:用于高纯度试剂的全新工作流程

新版软件推出了一项名为“Simple Recipe”(简易方案)的新工作流程,其中包括一系列预设方法,可简化高纯度试剂中痕量元素的分析(图 1)。这些分析方案对于缺乏经验的操作人员尤为实用,其中包括针对 UPW、H₂O₂、HNO₃、HCl、H₂SO₄ 和 IPA 的分析方案。每种方案都支持在启动和自动调谐过程中自动优化等离子条件,包括高低温等离子体设置。专用的快速自动调谐程序可在 8 分钟内完成运行,并使大多数元素的 BEC < 1 ppt。该工作流程配有全面的 SOP,从样品前处理到数据采集全程指导用户,有助于降低结果的变异性并减少培训需求。使用“简易方案”创建的批次还可以转换为“自定义调谐”,以便在需要时实现完全手动优化。

软件界面会显示详细的配置页面,左侧为任务导航,中间为设置窗口。可以看到有关气流和采样类型的各种数据字段和选项,表明这是用于科学分析的设备配置。整体布局结构严谨、技术性强,展现出专业、科学分析的基调。

图 1. 包含预设方法选择的“简易方案”用户界面示例。

改进单纳米颗粒 (sNP) 分析

ICP-MS MassHunter 5.4 针对单纳米颗粒 (sNP) 分析模块进行了重大改进。全新设计的操作界面使用户能够在一个视图中配置和查看多元素 sNP 数据,类似于 FullQuant 工作流程(图 2)。新算法采用高斯拟合技术提升颗粒信号检测能力,能够校正标准物质中的颗粒聚集效应。此外,还可基于相对标准偏差 (RSD) 标准进行异常值筛选,并提供了更多的颗粒、质量和离子浓度单位供用户选择。升级后的可视化工具支持同时显示多达六种元素,并支持自定义粒径分布图表。

现代化的实验室配备先进的分析设备,包括离子色谱仪、自动进样器、ICP-MS 以及实验台上的电脑显示器。

图 2. 数据分析软件界面,显示了以表格和图形形式呈现的样品数据,包括粒径和信号强度分布图,适用于科学分析。

ICP-MS MassHunter 5.4 版的其他增强功能包括:

 
  • 改进了 Agilent ADS 2 系统,包括低耗样模式、分析超范围样品后自动插入空白样品,以及 PDF 格式的系统检测报告
  • 干泵的早期维护反馈 (EMF) 追踪
  • 可为 SPS 4 自动进样器定义和复制非标准样品架配置(图 3)
  • 支持 SEMI E30 软件开发工具包集成,实现与半导体制造设备的 GEM/SECS-II 协议通信
自定义样品架编辑器界面显示了样品架布局,其中各种灰色几何形状代表 8 × 3 网格中的自定义样品瓶。右侧可以设置样品瓶的形状和尺寸。

图 3. 用于 Agilent SPS 4 自动进样器的自定义样品架配置工具。

如需了解更多信息,请访问:安捷伦 ICP-MS 软件 | 安捷伦

除了文章中已经列出的 ICP-MS 主机外,ICP-MS MassHunter 5.4 还兼容:

  • Windows 11 Pro 或企业版(64 位)v.23H2 和 24H2
  • Microsoft Excel。尽管 ICP-MS MassHunter 本身不需要 Excel,但它完全兼容 Microsoft 365 Excel(本地部署)和 64 位 Excel 2024。还支持 32 位 Excel 2021。
  • 安捷伦和第三方* 自动进样器和附件(* 需使用附件供应商提供的插件)。
  • Agilent 7890 和 8890 气相色谱系统以及 7693 自动进样器。需要可选的色谱软件模块。
  • 大多数 Agilent 1100 和 1200 系列 HPLC 模块和外围设备。需要可选的色谱软件模块。
  • 安捷伦合规软件、Workstation Plus、OpenLab Basic Server/OpenLab Server、ECM XT 2.7/2.8 及 ECM 3.6。

有关该研究的摘要,请查看此处

DE-008356