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RP 和 RPS 变频驱动

RP 和 RPS 罗茨泵机组的安捷伦变频驱动器消除了单独压力监测和罗茨泵切换阀的需求。以适当转速操作罗茨泵来优化压力降低时流向前级泵的气流,从而消除了前级泵/罗茨泵抽速曲线的“拐点”,缩短了抽真空时间,同时还减轻了旋转元件的应力。

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