产品详细信息
特性
- 使用固体自动进样器将您的 UMS/UMA 附件升级为强大的 QA/QC 生产工具，实现高通量测试以及对 8 英寸晶圆的空间表征
- 通过多样品自动化分析功能降低每次分析的成本，使操作人员无需在样品之间以及反射率和透射率测定之间进行干预
- 单次运行可测量多达 32 个 1 英寸样品，或使用空间测绘功能对直径为 8 英寸的晶圆进行空间表征和筛选
- 通过自动化 QA/QC，在标准工作时间外实现无人值守的过夜运行或周末运行，从而大幅提高您的投资回报和检测能力
- 功能强大且易于配置的软件可指导您在所需的检测点进行光谱分析 — 支持单个样品的单点检测、1 英寸样品的多点检测，甚至可对高达 8 英寸的样品进行一系列点的连续检测
- 对于超长时间的大量样品分析，自动进样器会按用户设定的时间间隔自动返回到无遮挡的初始位置，并重新采集基线，规避各种系统漂移风险
- 固体自动进样器标配专用软件模块，称为 AutoPro。该模块预置多种检测方案，使您可以立即开始对多个样品（24 或 32 个样品）以及 8 英寸样品进行空间分析，或者您也可以在 AutoPro 中创建您自己的检测方案
