공정상 화학물질 분석

반도체 공정 중 화학적 순도 보장

반도체 제조 공정에는 제품 세척을 위한 초고순도의 화학물질이 필요하며, 이러한 화학물질이 오염 방지를 위해 극미량 금속을 전혀 포함하고 있지 않아야 합니다. 뛰어난 감도를 가진 분석 기기가
효과적으로 오염물을 검출해낼 수 있어야 하며, 매트릭스 농도가 높은 환경에서도 효과적으로 가동할 수 있어야 합니다.

애질런트는 업계 선도적인 정밀성과 자동화 솔루션으로 한층 향상된 효율성을 자랑하는 ICP-MS ORS 및 ICP-MS/MS 기술을 통해 스펙트럼 간섭을 감소하고 공정 중의 화학물질을 직접 측정할 수
있도록 합니다. 애질런트의 견고하고 믿을 수 있는 분석법은 가장 까다로운 샘플링 조건에서도 해당 물질의 정확하고 감도 높은 분석을 보장합니다.