真空阀选择指南

Agilent s extensive line of vacuum valves is engineered for reliability, performance, and value. These valves are also engineered to optimize conductance, to operate in a wide variety of applications, and to operate with a minimum of moving parts. This reduces wear and particle generation which contributes to performance and reliability. Agilent valves are manufactured using the highest quality vacuum materials and provide a choice of actuation and a variety of mounting flanges. All Agilent valves are leak checked with the Agilent mass spectrometer leak detector and tested prior to shipment to ensure proper operation.

真空范围	阀类型		外壳材质		尺寸范围	穿导件（内径）	法兰选择	驱动方式
真空范围	阀类型		Al	不锈钢	尺寸范围	穿导件（内径）	法兰选择	驱动方式
从粗真空到高真空
Atm 10-⁶ torr	挡板	直角	•		0.75 英寸到 1.0 英寸	轴	ISO-KF	电磁式
Atm 10-⁹ torr	挡板	直角	•		0.75 英寸到 3 英寸	波纹管	ISO-KF	手动/气动
Atm 10-⁹ torr	挡板	直通	•		0.75 英寸到 1.5 英寸	波纹管	ISO-KF	手动/气动
Atm 10-⁹ torr	挡板	直角		•	0.75 英寸到 1.5 英寸	波纹管	CF，ISO-KF，焊接	手动/气动
Atm 10-⁹ torr	挡板	直通		•	0.75 英寸到 1.0 英寸	波纹管	CF，ISO-KF，焊接	手动/气动
Atm 10-⁹ torr	MBS 管*	直角		•	0.75 英寸到 1.5 英寸	波纹管	CF	手动/气动
Atm 10-⁹ torr	MBS 管*	直通		•	0.75 英寸到 1.5 英寸	波纹管	CF	手动/气动
Atm 10-⁹ torr	插板	插板阀	•		2.5 英寸到 10 英寸	轴	ISO, ASA	手动/气动
超高真空
Atm 10-¹¹ torr	UHV，全金属	直角		•	0.75 英寸到 2.5 英寸	波纹管	CF	手动
Atm 10-¹¹ torr	UHV，全金属	直通		•	1.5 英寸	波纹管	CF	手动
Atm 10-¹¹ torr	UHV，全金属	三通		•	1.5 英寸	波纹管	CF	手动
特殊用途
Atm 10-⁴ torr	微调放气			•		波纹管	CF	手动
Atm 10-⁴ torr	真空泵隔离阀 (VPI)		•		NW25-NW40	轴	ISO-KF	大气

*MBS Metal Bonnet Seal

For outline drawings, features, technical specs and ordering information, refer to the Vacuum Technologies Product Catalog.

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