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用于涡轮分子泵组的放空阀

用于涡轮分子泵组的放空阀

涡轮分子泵组放空阀可确保对涡轮分子泵执行正确且安全的放空和减速程序。当涡轮分子泵组停止运行或发生断电时,放空阀会通过由电磁阀控制的标准孔向涡轮分子泵注入确定的气流。

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