환경 모니터링

반도체 폐수 과정의 환경 모니터링 강화

수익성을 유지하는 동시에 반도체 제조 절차가 환경에 미치는 영향을 최소화하려면 안정적이고 견고한 기기 성능을 필요합니다. 효과적인 분석 솔루션으로 반도체 제조 과정에서 생성하는 다양한
극미량 오염물을 검출해야 합니다. 애질런트의 ICP-MS, ICP-OES, ICP-MS/MS 장비는, 유기 용매, 산, 염기, 염, 중금속 등을 포함한 오염물을 정확하게 정량합니다.

최첨단 시료 전처리 및 자동 처리 기능을 구비한 강화된 애질런트의 기기는 반도체 폐수 흐름 분석에서 가장 높은 수준의 규제를 충족하며 확실한 품질 제어 능력을 자랑합니다. 애질런트는 환경
모니터링 및 분석에 대한 수십 년간의 경험을 바탕으로 실리콘 성장부터 산화, photolithography, 세척에 이르는 반도체 제조 과정의 안전성을 확보해 드립니다.