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터보 펌프 벤팅

터보 펌프 벤팅

터보 펌프 벤트 밸브는 올바르고 승인된 벤트 및 감속 절차가 터보 분자 펌프에 적용되도록 합니다. 펌프가 중지되거나 전력 손실이 발생하는 경우, 벤트 밸브는 전자기적으로 작동하는 밸브를 사용하여 관리되는 캘리브레이션된 오리피스를 통해 정의된 기체 흐름을 터보 펌프로 주입합니다.

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