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TSP 카트리지

TSP 카트리지

티타늄 승화 펌프(TSP) 카트리지는 모든 흡수 가능한 가스를 펌핑하는 데 효과적인 방법입니다. TSP는 이온 펌프 내부에 추가하거나 별도의 펌핑 장치로 추가할 수 있습니다. 수냉식 극저온패널과 함께 사용하는 경우 온도를 더욱 더 낮춰 중간체 가스의 펌핑 속도를 더욱 개선할 수 있습니다.

필라멘트형 TSP 소스는 승화 사이에서 끌(turned-off) 수 있어 열로 인한 탈기를 악화시키지 않기 때문에 UHV 시스템에서 가장 많이 사용됩니다. 볼형 소스에는 더 많은 양의 티타늄이 포함되어 있기 때문에, 작동 압력 증가와 같이 티타늄 사용량이 늘어나는 상황에서 사용할 때 수명을 연장합니다.

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