TSP 카트리지
티타늄 승화 펌프(TSP) 카트리지는 모든 흡수 가능한 가스를 펌핑하는 데 효과적인 방법입니다. TSP는 이온 펌프 내부에 추가하거나 별도의 펌핑 장치로 추가할 수 있습니다. 수냉식 극저온패널과 함께 사용하는 경우 온도를 더욱 더 낮춰 중간체 가스의 펌핑 속도를 더욱 개선할 수 있습니다.
필라멘트형 TSP 소스는 승화 사이에서 끌(turned-off) 수 있어 열로 인한 탈기를 악화시키지 않기 때문에 UHV 시스템에서 가장 많이 사용됩니다. 볼형 소스에는 더 많은 양의 티타늄이 포함되어 있기 때문에, 작동 압력 증가와 같이 티타늄 사용량이 늘어나는 상황에서 사용할 때 수명을 연장합니다.
필라멘트형 TSP 소스는 승화 사이에서 끌(turned-off) 수 있어 열로 인한 탈기를 악화시키지 않기 때문에 UHV 시스템에서 가장 많이 사용됩니다. 볼형 소스에는 더 많은 양의 티타늄이 포함되어 있기 때문에, 작동 압력 증가와 같이 티타늄 사용량이 늘어나는 상황에서 사용할 때 수명을 연장합니다.
제품 정보
특징
- 2.75² ConFlat 플랜지에 제공합니다
- 400°C까지 베이크 가능합니다
- 작동 압력 범위는 1.0–4~1.0–12mbar입니다
- 필라멘트 카트리지에는 각각 1.1g의 티타늄이 사용 가능한 3개의 티타늄-몰리브덴 필라멘트가 포함되어 있습니다
- 교체형 필라멘트 패키지에는 4번 교체하는 데 충분한 양인 12개의 필라멘트가 포함되어 있습니다
- Mini 티타늄 Ball 소스는 15.2g의 사용 가능한 티타늄을 제공해 작동 수명을 연장합니다
- 300W 전력원에서 Ti-ball 승화가 최대치에 도달하며, 대기 전력은 100W로 사용하지 않는 동안 균열을 방지합니다
