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NEG 플랜지

SAES GETTERS NEG 플랜지는 표준 CF 유형으로 Ion CombiNEG 펌프 패키지를 완성하기 때문에 이온 펌프 내부에 NEG 카트리지를 정확하게 통합할 수 있습니다. 특수 커넥터를 사용해 NEG를 제어 장치에 연결할 수 있으며, 400°C까지 베이크가 가능합니다.

각 NEG 플랜지는 해당 NEG 카트리지에 정확하게 들어맞도록 특별하게 설계되었으며, 모두 1.5 x 10–10 scm3/s까지 누출 시험을 거쳤습니다. 이러한 설계를 통해 전체 펌프 어셈블리를 소형으로 단순하게 만들었으며, 풋프린트 및 신뢰성 측면에서의 이점도 있습니다.

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