NEG 플랜지
SAES GETTERS NEG 플랜지는 표준 CF 유형으로 Ion CombiNEG 펌프 패키지를 완성하기 때문에 이온 펌프 내부에 NEG 카트리지를 정확하게 통합할 수 있습니다. 특수 커넥터를 사용해 NEG를 제어 장치에 연결할 수 있으며, 400°C까지 베이크가 가능합니다.
각 NEG 플랜지는 해당 NEG 카트리지에 정확하게 들어맞도록 특별하게 설계되었으며, 모두 1.5 x 10–10 scm3/s까지 누출 시험을 거쳤습니다. 이러한 설계를 통해 전체 펌프 어셈블리를 소형으로 단순하게 만들었으며, 풋프린트 및 신뢰성 측면에서의 이점도 있습니다.
각 NEG 플랜지는 해당 NEG 카트리지에 정확하게 들어맞도록 특별하게 설계되었으며, 모두 1.5 x 10–10 scm3/s까지 누출 시험을 거쳤습니다. 이러한 설계를 통해 전체 펌프 어셈블리를 소형으로 단순하게 만들었으며, 풋프린트 및 신뢰성 측면에서의 이점도 있습니다.
- Non-Evaporable Getter (NEG) Combination Ion Pumps
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Literature
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Vacuum and Leak Detection Reference: Formulas, Properties, and Glossary
This reference helps users to keep important properties, formulas, and terms used in vacuum technology at their fingertips.
- Brochures
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- 27 Oct 2022
- 1.10 MB
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Support
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Agilent Vacuum Product Declarations of Conformity Reference List
Contains a reference list of Vacuum Products Declarations of Conformity. Each vacuum product is shipped with the specific Declaration of Conformity.
- Certificates of Conformance
- English
- 11 Jul 2024
- 136.60 KB
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