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TSP 常温屏蔽罩和低温挡板

TSP 常温屏蔽罩和低温挡板

TSP 常温屏蔽罩和低温挡板设计用于与 TSP 泵芯结合使用。两种产品都为钛溅射提供了较大的表面积。如果在超高真空/极高真空下使用,低温挡板(低温罩)可在水冷/液氮冷却下使用。如果不能或不希望进行冷却,常温屏蔽罩可以提供比未冷却低温板更高的抽速。

使用常温屏蔽罩或低温挡板与 TSP 泵芯,提高活性气体的抽速,更快达到超高真空/极高真空状态。常温屏蔽罩可以为活性气体提供高抽速。在非常低的压力下,最大的残留气体负荷为氢气,当升华钛处于低温罩提供的较低温度时,氢气的抽除效率较高。

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