TSP 차단 실드 및 극저온패널
차단 실드 또는 극저온패널을 TSP 카트리지와 함께 사용하여 활성 가스에 대한 펌핑 속도를 높이고 UHV/XHV에 더 빠르게 도달합니다. 차단 실드는 반응성 가스에 대해 높은 펌핑 속도를 제공합니다. 매우 낮은 압력에서 부하가 가장 큰 잔존 기체가 수소입니다. Cryoshroud를 사용해 승화 티타늄의 온도를 더 낮추면 수소가 더 효과적으로 펌핑됩니다.
- 티타늄 승화 조합 이온 펌프(TSP)
제품 정보
- 극저온패널 또는 차단 실드는 TSP의 승화 티타늄에 제공하는 표면적이 더 넓고 원치 않는 코팅으로부터 진공 시스템을 보호해 줌
- 극저온패널이 액체 질소 냉각 시 성능 극대화
- Water cooling, 액체 질소로 작동하는 TSP 극저온패널
- 차단 실드는 냉각이 필요하지 않음
- 더블엔드 또는 사이드 포트 이온 펌프에 장착 가능
- 외경 8인치인 ConFlat 플랜지에 장착하며, TSP 카트리지 장착을 위한 2.75인치 ConFlat 플랜지 포함
- 11인치 깊이/간격의 모든 8인치(NW 150) CFF 포트에 독립적으로 설치 가능
- TSP 카트리지는 미포함
- 주요 참고문헌
-
TSP Ambient Shield Data Sheet
Technical specifications and ordering information for TSP Ambient Shield.
- 데이터 시트
- English
- 19 May 2022
- 378.25 KB
- 브로셔
- 카탈로그
- 기술 개요
- 사용자 설명서
-
Cryopanel User Manual
Instructions for use and technical specifications for the Cryopanel
- 사용자 설명서
- English
- 30 Jun 2017
- 1.99 MB
비디오
Vacuum Technologies Webinar Series
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진공 기술 응용 및 교육
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이온 펌프 유지보수 및 예비 부품
이온 펌프를 최고의 작동 상태로 복원해야 하는 고객을 위해 순정 교체용 구성 요소, 히터, 피드스루 및 특정 자석 크기를 제공합니다. 유지보수 프로세스를 안내하는 전문 원격 지원도 제공합니다.|용량이 150L/s 이상인 이온 펌프의 경우 기존 구성 요소를 StarCell, Diode 또는 Noble Diode 구성 요소 중 하나로 교체할 수 있습니다. 소형 펌프의 경우, 본체를 교체하고 자석을 재사용할 수 있습니다.|온라인 채팅으로 전문가와 상담하여 이온 펌프 유지보수를 위한 최상의 솔루션에 대한 조언을 얻으세요.