Agilent ICP-MS MassHunter 소프트웨어는 Agilent ICP-MS 및 ICP-QQQ 시스템에 대한 기기 제어 및 데이터 분석(DA)을 제공합니다. 최신 개정 버전 ICP-MS MassHunter 5.4는 2025년 6월에 출시되었습니다. 이 버전은 현재 모든 Agilent 7850 및 7900 SQ ICP-MS와 Agilent 8900 ICP-QQQ 시스템을 지원하며, Agilent 7800 ICP-MS 및 8800 ICP-QQQ 플랫폼과도 계속 호환됩니다.
ICP-MS MassHunter 5.4는 Windows 11과 호환되므로 실험실에서 Windows 10 지원 종료에 대비하여 원활하게 전환할 수 있습니다. 또한 Agilent OpenLab Server/ECM XT 2.7/2.8 및 ECM 3.6과 같은 규정 준수 솔루션과도 통합됩니다.
이 소프트웨어 버전에서는 고순도 반도체 시약을 위한 새로운 워크플로, 단일 나노입자(sNP) 분석을 위한 대폭적 개선, 건식 펌프 지원, Agilent SPS 4 자동 시료 주입기용 맞춤형 랙, SEMI E30 소프트웨어 개발 키트와의 통합을 도입했습니다. 이러한 개선은 반도체 및 첨단 재료 실험실의 변화하는 요구를 해결하기 위해 고안되었습니다.
ICP-MS MassHunter 5.4의 새로운 기능
ICP-MS MassHunter 버전 5.4는 버전 5.1에 도입된 새롭고 간소화된 사용자 인터페이스를 기반으로 구축되었으며 다음과 같은 다양한 개선 사항과 새로운 기능을 갖추고 있습니다.
간단한 레시피: 고순도 시약을 위한 새로운 워크플로
이번 새 버전의 소프트웨어에서는 “간단한 레시피”라는 새로운 워크플로를 도입했는데, 여기에는 고순도 시약의 미량 원소 분석을 간소화하는 일련의 사전 설정된 분석법이 포함되어 있습니다(그림 1). 이 레시피는 특히 경험이 부족한 작업자에게 유용합니다. UPW, H₂O₂, HNO₃, HCl, H₂SO₄ 및 IPA에 대한 레시피가 포함되어 있으며 각 레시피는 시동 및 자동 튜닝 시 플라즈마 조건을 자동으로 최적화하며, 여기에는 고/저온 플라즈마 설정도 포함됩니다. 전용 Fast-AutoTune 루틴은 8분 이내에 완료되며 대부분의 원소에 대해 BEC < 1 ppt를 실현합니다. 이 워크플로는 포괄적인 표준 운영 절차(SOP)를 통해 시료 전처리부터 데이터 수집까지 사용자를 안내하며 변동성과 교육 필요성을 줄이는 데 도움이 됩니다. 간단한 레시피로 생성된 배치는 필요에 따라 완전 수동 최적화를 위해 맞춤형 튜닝으로 변환할 수도 있습니다.
향상된 단일 나노입자(sNP) 분석
ICP-MS MassHunter 5.4는 단일 나노입자(sNP) 분석 모듈을 대폭 개선했습니다. 새롭게 설계된 인터페이스를 통해 사용자는 FullQuant 워크플로(그림 2)와 유사하게 단일 뷰에서 다중 원소 sNP 데이터를 구성하고 검토할 수 있습니다. 새로운 알고리즘은 입자 신호 검출을 위한 가우시안 피팅을 적용하며, 이를 통해 표준물질 내 입자 응집 현상까지 처리할 수 있습니다. 또한 상대 표준편차(RSD) 기준에 따른 이상치 검출도 가능합니다. 이제 사용자는 입자, 질량 및 이온 농도에 대해 더욱 다양한 단위를 선택할 수 있습니다. 향상된 시각화 도구를 사용하면 사용자 정의 가능한 입자 크기 차트와 함께 최대 6개의 원소를 동시에 표시할 수 있습니다.
ICP-MS MassHunter 버전 5.4의 기타 개선 사항은 다음과 같습니다.
- Agilent ADS 2 시스템 개선 사항: 시료 소모량을 절감하는 분석 옵션, 측정 범위 초과 시료 분석 후 블랭크 용액 자동 주입 기능, PDF 형식의 시스템 성능 테스트 보고서 생성
- 건식 펌프의 사전 점검 피드백(EMF) 추적
- SPS 4 자동 시료 주입기에 비표준 랙 구성을 정의하고 복제하는 옵션(그림 3)
- SEMI E30 소프트웨어 개발 키트 통합 지원으로 GEM/SECS-II 프로토콜을 사용하여 반도체 제조 장비와 통신 가능
자세한 정보: Agilent ICP-MS 소프트웨어 | 애질런트
여기서 이미 소개한 ICP-MS 메인프레임 외에도 ICP-MS MassHunter 5.4는 다음과 호환됩니다.
- Windows 11 Pro 또는 Enterprise(64비트) v.23H2 및 24H2
- Microsoft Excel. ICP-MS MassHunter에는 Excel이 필요하지 않지만, Microsoft 365 Excel(온프레미스) 및 64비트 Excel 2024와 완벽하게 호환됩니다. 32비트 Excel 2021도 지원됩니다.
- 애질런트 및 타사* 자동 시료 주입기와 액세서리(*액세서리 공급업체의 플러그인 필요).
- Agilent 7890/8890 GC 및 7693 자동 시료 주입기. 추가적으로 제공되는 크로마토그래피 소프트웨어 모듈이 필요합니다.
- 대부분의 Agilent 1100 및 1200 시리즈 HPLC 모듈 및 주변 기기. 추가적으로 제공되는 크로마토그래피 소프트웨어 모듈이 필요합니다.
- 애질런트 규정 준수 소프트웨어, Workstation Plus, OpenLab Basic Server/OpenLab Server, 및 ECM XT 2.7/2.8, ECM 3.6.
연구 요약 내용은 여기에서 볼 수 있습니다.
DE-008356