载气需要什么级别的纯度和气源压力？[7700, 7900, 7800]   1. 氩气的纯度和气源压力   纯度 不低于 99.99% 气源压力 500-700 KPa 最大消耗量 20 L/min 2. 反应气体的纯度和气源压力   He 纯度 不低于 99.999% 气源压力 90-130 KPa 最大消耗量 12 mL/min H2 纯度 不低于 99.999% 气源压力 20-60 KPa 最大消耗量 10 mL/min